產品廠牌 ： Hiden Analytical 產品名稱 ： EQP - 電漿質譜儀 產品類型 ： 電漿檢測 產品應用 ： EQP是質譜及能量分析儀, 可分析電漿製程中的正負離子, 中子及radicals 相關網站 ： http://www.hidenanalytical.com/index.php/en/product-catalog/51-plasma-characterisation/82-eqp-mass-and-energy-analyser-for-plasma-diagnostics