產品廠牌 ： Hiden Analytical 產品名稱 ： 殘餘氣體分析儀( RGA) 產品類型 ： 氣體分析 產品應用 ： 殘餘氣體分析應用於真空檢測, 漏氣檢測, TPD及製程監控

產品廠牌 ： Hiden Analytical 產品名稱 ： 真空製程氣體分析儀 - HPR-30 產品類型 ： 氣體監控分析 產品應用 ： CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD Vacuum Coating / Plasma Etching Sputter Deposition Contamination Studies Base Pressure Fingerprint Leak Detection / Virtual Leaks / desorption Outgassing / Bakeout / Pump Performance Chamber / Process gas contaminants